Grado de ortosilicato E de tetraetilo

Peso de la molécula

208.33

No CAS.

78-10-4

Propiedades físicas

Líquido transparente incoloro

Punto de fusión: -77 ℃,

Punto de ebullición: 169 ℃,

Densidad: 0.93g / ml.

Establo en agua; ligero soluble en agua e hidroliza en agua pura, hidroliza más rápidamente en ácidos y bases.

Aplicaciones

Se utiliza principalmente en el proceso de deposición de vapor químico (CVD) durante la fabricación de obleas, y reacciona con O2 / O3 / N2O para formar películas de dióxido de silicona. Es un producto químico electrónico importante requerido para la fabricación de semiconductores, dispositivos discretos y sistemas micro-electromecánicos (MEMS)

Pureza() Min

99.999999 (8n)

锰 (mn) max

0.1 ppb

铝 (al) max

0.2ppb

钼 (mo) max

0.1 ppb

银 (AG) MAX

0.1 ppb

钠 (na) max

0.5 ppb

砷 (como) max

0.4 ppb

铌 (nb) max

0.1 ppb

金 (au) max

0.1 ppb

镍 (ni) max

0.2 ppb

硼 (b) max

0.5 ppb

铅 (pb) max

0.1 ppb

钡 (ba) max

0.1 ppb

锑 (sb) max

0.1 ppb

铍 (ser) max

0.1 ppb

锡 (sn) max

0.2 ppb

铋 (bi) max

0.1 ppb

锶 (sr) max

0.1 ppb

钙 (ca) max

0.5 ppb

钍 (th) max

0.1 ppb

镉 (cd) max

0.1 ppb

钨 (w) max

0.1 ppb

钛 (ti) max

0.1 ppb

锌 (zn) max

0.2 ppb

铀 (u) max

0.1 ppb

Cl- max

0.5ppm

钒 (v) max

0.1 ppb

Agua max

5ppm

钴 (co) max

0.4 ppb

Etanol max

3PPM

铜 (cu) max

0.2 ppb

partícula≥0.1 μm max

50p / ml

铬 (cr) max

0.2 ppb

partícula≥0.2μm max

30p / ml

铁 (FE) max

0.2 ppb

partícula≥0.3μm máx.

20p / ml

锆 (zr) max

0.1 ppb

partícula≥0.5 μm máx.

10P / ml

镓 (GA) MAX

0.4 ppb

partícula≥1.0 μm máx.

3P / ml

汞 (hg) max

0.3 ppb

Cromacity max

10APHA

钾 (k) max

0.2 ppb

Contenido principal() Min

99.99

锂 (li) max

0.1 ppb

Apariencia

Líquido transparente incoloro

镁 (mg) max

0.5 ppb

Duracion

24 meses